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    氣體質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品時(shí)間:2025-06-09

    簡(jiǎn)要描述:

    Aera流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器
    FC-DR980C
    ◆ 流量可覆蓋10sccm-30slm包含腐蝕性氣體(相對(duì)于N2)
    ◆ 快速反應(yīng)
    ◆ 數(shù)字和模擬通訊控制模式,橡膠或金屬密封
    ◆ 高可靠性和實(shí)用性

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    Aera流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器FC-DR980C  FC-DR981C:

    Aera創(chuàng)建于美國(guó),是一家提供流體測(cè)量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國(guó)高科技企業(yè),擁有研發(fā)及運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì),掌握行業(yè)*的流體測(cè)量及控制技術(shù),專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,包括半導(dǎo)體、新能源、 新材料,平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器,氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品,客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。

    氣體質(zhì)量流量控制器性能:

    數(shù)字和模擬兩用型控制

    快速的響應(yīng)

    高精度

    高度的可靠性和穩(wěn)定性

    易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸

    規(guī)格

    FC-DR980C

    Full Scale Range (N2 Eqv)

    單氣體2-5000sccm

    Control Valve Type 閥門類型

    常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)

    Fitting

    接頭

    1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容

    IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)

    Seals 密封

    橡膠 Viton金屬

    Response Time 響應(yīng)時(shí)間

    ≤1Sec(超過滿量程10%)

    Accuracy

    精度

    25%-100%:≤±1%S.P (滿量程25%到100%)

    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)

    Linearity 線性度

    ≤ 滿量程的±0.5%

    Repeatability 重復(fù)性

    ≤ 滿量程的±0.15%

    Differential Pressure 壓差

    7 - 40psi

    Leak lntegrity 漏率

    Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

    Control Range 控制范圍

    滿量程的2-100%

    Max Operating Pressure 高操作壓力

    70psi

    Proof Pressure 承受壓力

    Z大值140psi

    Communication Type 通訊模式

    模擬0-5V / RS485

    Input Power

    輸入功率

    +15VDC ±2% at 100mA

    -15VDC ±2% at 200mA

    Command Signal 輸入模擬信號(hào)

    模擬信號(hào)0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數(shù)字信號(hào) 0-100%

    Output Signal 輸出模擬信號(hào)

    模擬信號(hào)0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數(shù)字信號(hào) 0-100%

    Power Consumption 功耗

    4.5W

    Temperature Range 溫度范圍

    5-45 Deg C

    Materials 材料

    316LSS,316SS,PTFE

    Weight 重量

    1.2kg

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