氣體質(zhì)量流量控制器

Aera流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器FC-DR980C  FC-DR981C：

Aera創(chuàng)建于美國(guó)，是一家提供流體測(cè)量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國(guó)高科技企業(yè)，擁有研發(fā)及運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)，掌握行業(yè)*的流體測(cè)量及控制技術(shù)，專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，包括半導(dǎo)體、新能源、 新材料，平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器，氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品，客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）。

氣體質(zhì)量流量控制器性能：

數(shù)字和模擬兩用型控制

快速的響應(yīng)

高精度

高度的可靠性和穩(wěn)定性

易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸

規(guī)格

FC-DR980C

Full Scale Range (N2 Eqv)

單氣體2-5000sccm

Control Valve Type 閥門類型

常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)

Fitting

接頭

1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容

IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)

Seals 密封

橡膠 Viton金屬

Response Time 響應(yīng)時(shí)間

≤1Sec(超過滿量程10%)

Accuracy

精度

25%-100%:≤±1%S.P (滿量程25%到100%)

2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)

Linearity 線性度

≤ 滿量程的±0.5%

Repeatability 重復(fù)性

≤ 滿量程的±0.15%

Differential Pressure 壓差

7 - 40psi

Leak lntegrity 漏率

Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

Control Range 控制范圍

滿量程的2-100%

Max Operating Pressure 高操作壓力

70psi

Proof Pressure 承受壓力

Z大值140psi

Communication Type 通訊模式

模擬0-5V / RS485

Input Power

輸入功率

+15VDC ±2% at 100mA

-15VDC ±2% at 200mA

Command Signal 輸入模擬信號(hào)

模擬信號(hào)0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數(shù)字信號(hào) 0-100%

Output Signal 輸出模擬信號(hào)

模擬信號(hào)0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數(shù)字信號(hào) 0-100%

Power Consumption 功耗

4.5W

Temperature Range 溫度范圍

5-45 Deg C

Materials 材料

316LSS，316SS，PTFE

Weight 重量

1.2kg